Souza R, Nogueira WA, Filho S dos S. Nano-oxidação do silício: influência dos processos de crescimento convencional e pirogênico na qualidade e na uniformidade dos óxidos finos obtidos em superfícies irregulares contendo degraus abruptos . Phys. 2006;6(1):1-8. doi:10.5196/physicae.6.4