No. 27 (2019), Resumos
No. 27 (2019)

Caracterização estrutural de filmes finos por técnicas de raios X

Resumos
Published 2019-11-30
Victor Barrera
Universidade Estadual de Campinas
Lisandro Cardoso
Universidade Estadual de Campinas
Diego da Silva
Universidade Estadual de Campinas
Odilon Couto Júnior
Universidade Estadual de Campinas
https://orcid.org/0000-0002-8416-3805
PDF (Portuguese)

Keywords

Raios X
Caracterização estrutural
Filmes finos

How to Cite

BARRERA, Victor; CARDOSO, Lisandro; SILVA, Diego da; JÚNIOR, Odilon Couto. Caracterização estrutural de filmes finos por técnicas de raios X. Revista dos Trabalhos de Iniciação Científica da UNICAMP, Campinas, SP, n. 27, p. 1–1, 2019. DOI: 10.20396/revpibic2720191865. Disponível em: https://econtents.sbu.unicamp.br/eventos/index.php/pibic/article/view/1865. Acesso em: 7 oct. 2026.
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Abstract

O trabalho que será apresentado é resultado de seis meses de aprendizado de tecnicas de raio-x aplicado no reconhecimento de filme fino sobre silício como substrato. Foram analizadas um conjunto de 7 amostras e sobre elas verificou-se a influência da relação de pulso/purga de DeZ e de água sobre o substrato de silício, variando o tempo de aplicação sobre cada amostra.

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References

BARRERA, V.; CARDOSO, L.; SILVA, D. DA; COUTO JÚNIOR, O. Caracterização estrutural de filmes finos por técnicas de raios X. Revista dos Trabalhos de Iniciação Científica da UNICAMP, n. 27, p. 1-1, 13 dez. 2019.

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